Kurz- und Ultrakurzpulslaser mit hoher Wiederholrate messen

Kurz- und Ultrakurzpulslaser mit hoher Wiederholrate messen

MKS stellt neuen Ophir Sensor zur Leistungsmessung vor

Kurz- und Ultrakurzpulslaser mit hoher Wiederholrate messen

Der Ophir® F80(120)A-CM-17 Sensor misst die Laserleistung von KP- und UKP-Lasern. (Bildquelle: @Ophir)

MKS Instruments begegnet den Herausforderungen bei der Messung von Kurzpulslasern und Ultrakurzpulslasern in der Mikrobearbeitung mit einem neuen thermischen Laserleistungssensor. Der jetzt vorgestellte Sensor Ophir® F80(120)A-CM-17 misst die Leistung von Lasern mit einer Pulsdauer im Bereich von Nano-, Pico- und Femtosekunden und hohen Wiederholraten. Laser mit einer sehr hohen Wiederholrate führen bei klassischen Sensorbeschichtungen schon bei niedrigeren Leistungsdichten zu Beschädigungen. Der kompakte, kalibrierte und lüftergekühlte F80(120)A-CM-17 Sensor hält hohen Leistungsdichten stand und misst eine durchschnittliche Leistung bis 80 Watt sowie intermittierende Leistung bis 120 Watt. Damit eignet sich der Sensor ideal für die Mikromaterialbearbeitung sowie Anwendungen in der Halbleiter- und Displayfertigung oder der Medizintechnik.

Der F80(120)A-CM-17 Laserleistungssensor arbeitet mit industriellen Lasern mit Wellenlängen zwischen 248 nm und 9,4 µm. Er misst Leistungen von 100 mW bis 80 W kontinuierlich (bis 120 W intermittierend). Der Sensor ist lüftergekühlt und verfügt über eine
17,5 mm Apertur. Der Laserleistungssensor nutzt einen einzigartigen Absorber, der sich auch bei sehr kurzen Pulsen und hohen Leistungsdichten von bis zu 7 kW/cm2 bei 80 W nicht abnutzt. “Die Mikromaterialbearbeitung erfordert eine nahezu perfekte Strahlqualität. Sie hängt damit sehr stark von Lasern mit kürzeren Wellenlängen, kürzeren Pulsen und hohen Wiederholraten ab”, erläutert Reuven Silverman, General Manager Ophir Photonics. “Um schnell und präzise die gewünschte Funktionalität zu erzielen, erfordert es gerade bei Lasern im Nanosekundenbereich mit hoher Wiederholrate eine engmaschige Prüfung der Laserleistung.” Die spezielle Beschichtung des F80(120)A-CM-17 Laserleistungssensors ermöglicht genaue Messungen und hält auch den höheren Leistungsdichten gepulster Laser mit hoher Repetitionsrate stand.

Wie alle Ophir Sensoren bietet der Ophir F80(120)A-CM-17 Laserleistungssensor eine “Smart Connector” Schnittstelle. Darüber lassen sich die verschiedenen Anzeigegeräte des Unternehmens wie das Centauri, StarBright, Vega, Nova II oder die StarLite Smart Displays, sowie die kompakten USB PC-Schnittstellen Juno und Juno+ und der EA-1 Ethernet Adapter anschließen.. Bei der Darstellung der Messwerte kann der Anwender aus unterschiedlichen Formaten wählen und Echtzeit-Statistiken erstellen lassen. Die Anzeigegeräte bieten ein durchdachtes Logging von Leistung und Energie, Statistiken, Histogrammen sowie umfangreiche mathematische Funktionen. Sie werden automatisch konfiguriert, sobald sie mit einem Ophir Messkopf verbunden werden. Weitere Informationen zu Ophir Messtechnik finden Sie unter www.ophiropt.com
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Über MKS Instruments
MKS Instruments ist ein weltweit führender Anbieter von Instrumenten, Subsystemen und Prozessteuerungen zum Messen, Überwachen, Steuern und Analysieren kritischer Parameter in hochentwickelten Produktionsprozessen zur Optimierung der Prozessleistung und Produktivität. Unsere Produkte basieren auf unseren Kernkompetenzen in den Bereichen Druckmessung und -steuerung, Durchflussmessung und -steuerung, Gas- und Dampferzeugung, Gas- und Restgasanalyse, Leckageerkennung, Steuerungs- und Informationstechnologie, Ozonerzeugung und -verteilung, Energieversorgung, Erzeugung reaktiver Gase, Vakuumtechnologie. Photonik, Hochpräzisionspositionierung, Vibrationsisolierung und Optik. Zu unseren Kernmärkten zählen die Halbleiterproduktion, die Investitionsgüterindustrie, Life Science sowie Forschung und Wissenschaft. Weitere Informationen finden Sie unter http://www.mksinst.com

Über Ophir
Ophir, eine Marke der Light & Motion Division von MKS Instruments, Inc., bietet eine breite Palette an Messtechnik, darunter Leistungs- sowie Energiesensoren und Strahlprofilmessgeräte und entwickelt kontinuierlich innovative Produkte zur Messung von Lasern und LED Leuchten. Die modularen, individuell anpassbaren Lösungen werden rund um die Welt in Fertigung, Medizintechnik, im militärischen Bereich und der Forschung eingesetzt. Weitere Informationen finden Sie unter http://www.ophiropt.com

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